和记娱乐

Cn

IPM半导体中度严苛系列

用途:

Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant


特点:

绿色制造、全新系列干式真空泵

体积小、耗功低、大幅度降低成本

用于中度严苛制程的节能泵


规格参数
产品样本和技术手册

1609395167(1).jpg

产品样本和技术手册

产品外观图

名称

发布时间

下载